Ekran baskı yöntemi ile metal oksit gaz sensörü fabrikasyonu

Yarıiletken esaslı oksit malzemeler, gaz sensörlerinin imalatı için algılama malzemeleri olarak uzun yıllar kullanılmıştır. Yarıiletken gaz sensörlerinin yüzeyine getirilen yüklerin yoğunluğu çevredeki atmosferin bileşimine duyarlıdır. Bu nedenle, bu malzemeler farklı gazların tespiti için kullanılmıştır. SnO2, gaz sensörlerinin imalatı için temel malzeme olarak kullanılan en önemli metal oksit malzemelerinden biridir. Ayrıca La2O3,Fe2O3 gibi metal oksit yarıiletken malzemelerin de gaz sensör sistemine olan etkileri araştırılmıştır. Bu çalışmada yer alan sensörler oldukça basit ve ekonomik olan ve hiçbir teknolojik cihaz ve altyapı gerektirmeyen ekran baskı yöntemi ile elde edilmiştir. Kalın filmi kullanan teknoloji, alt tabakanın bir veya her iki tarafı üzerinde çok katmanlar üretebilir. Bunun, düşük maliyet, yüksek hassasiyet, kimyasal ve mekanik kararlılık gibi pek çok avantajı vardır. Bu nedenle, bu teknoloji kullanılarak gaz ortamında iyi algılama özelliklerine sahip düşük maliyetli SnO2, La2O3 katkılı SnO2 ve Fe2O3 katkılı SnO2 metal oksit gaz sensörleri üreterek yapısal, morfolojik ve sensör özellikleri incelendi.