Sıcaklık sensörlerinin üretimi ve karakterizasyonu

Sıcaklık en sık ölçülen çevresel değerdir. Çünkü fiziksel, elektronik, kimyasal, mekanik ve biyolojik sistemler sıcaklıktan etkilenir. Bu nedenle, sıcaklığı ölçmek ve kontrol altında yani belirli değerlerde tutmak önemlidir. Platin gibi son derece pahalı malzemeler kullanarak, üretilen sensörlerin istenen direnç değerine göre üretilmesi gerçekten zordur. Bu nedenle, litografi maskeleri üretilecek sıcaklık sensörlerin de önem kazanmaktadır. Özellikle platin sıcaklık sensörlerinin üretim aşamalarında kimyasal aşındırma oldukça zor olabilir; Bu nedenle, üretim aşamalarını kontrol etmek için akıllı maskeler tasarlamanız gerekir. Bu nedenle, bir maske hazırlarken, düzeltme adı verilen noktalar, ayarlamak istediğiniz direnci ayarlamayı kolaylaştıracaktır. Bu nedenle, Dirençler normalde istenilen direnç değerlerinden daha küçük değerlerde üretilir ve lazerle delikler keserek istenilen direnç değerine göre ayarlanır.