Fabication and characterization of microelectromechanical resonators

Mikrometre boyutlarda üretilmi³ mekanik çnlaçlar günümüzde bilim ve teknolo-jideki önemli uygulamalarndan dolay oldukça ilgi görmektedir. Bu çnlaçlarkuvvetteki, yükteki ya da basnçdaki de§i³imi ölçmek için elektometrelerde vemagnetometrelerde kullanlr. Ayrca mikro-çnlaçlar radyo-frekans süzgecinin birparças olarak da ileti³im alannda kullanlmaktadr.Bu çal³ma, mikron boyutlarda yaplm³ çnlaçlarn üretim ve karakteri-zasyonu amacyla yürütülmü³tür. Yaltkan altta³ üzerine yaplandrlm³ sil-isyum ve silisyum nitrat yapsndaki çnlaçlar, yüzeyde mikron boyutlardaüretilmi³tir. Çnlaçlarn üretimi Bilkent Üniversitesi leri Ara³trma Laboratu-varnda yaplm³tr. Çnlaçlarn karakterizasyonu ise iki de§i³ik yöntem kul-lanlarak yaplm³tr. Karakterizasyonda bulunan sonuçlar daha sonra kiri³ ku-ram (beam theory) ile bulunan sonuçlarla kar³la³trlm³tr.Anahtar sözcükler: Çnlaçlar, Dirsek, Köprü, ,Kalite Faktörü, Lazer Kiri³ Sap-mas, Fiber optik Giri³imölçeri.iv