Dikdörtgensel kesik-halka rezonatörlerinin algılama uygulamaları için tasarımı, üretimi ve karakterizasyonu

Bu tez çalışması kapsamında mikrodalga ve Terahertz frekans bantlarında çalışan kesik-halka rezonatörleri tasarlanmış, üretilmiş ve karakterize edilmiştir. Tek kesikli ve çift kesikli rezonatörler mikrodalga bandında incelenmiştir. Rezonatörler, tek-kutuplu antenlerle eşlenmiş bir şekilde tasarlanmıştır. Rezonatörlerin saçılım parametreleri elektrik ve manyetik alanın farklı polarizasyonları için incelenmiştir. Belli bir polarizasyondaki uyarılma altında, tek kesikli ve çift kesikli rezonatörlerin aynı şekilde davrandıkları gösterilmiştir. \ Geliştirilen kesik-halka rezonatörlerinin frekans seçici yüzeyler olarak kullanılması olasıdır. Terahertz bandında tek kesikli, dikdörtgen şeklinde farklı kesik-halka rezonatörleri önerilmiştir. Üç farklı tipteki rezonatörler mikrofabrikasyon yöntemleri ve fotolitografi adımları kullanılarak üretilmiştir. Birinci tip cihazlar, silisyum alttaş üzerine bakır kullanılarak üretilmiştir. İkinci tip cihazlar, yine bakır kullanılarak Parylene film kaplı silisyum alttaşlar üzerinde üretilmiştir. Üçüncü tip cihazlar, Parylene film kaplı silisyum alttaşlar üzerinde titanyum kullanılarak üretilmiştir. Tüm cihazlar deneysel olarak karakterize edilmiştir ve karakterizasyon sonuçları geliştirilen modellerle karşılaştırılmıştır. Bu cihazların glukoz tespiti amacı ile kullanımları test edilmiştir. Glukoz moleküllerinin elektromanyetik özellikleri nedeniyle, cihazların rezonans frekansı glukoz moleküllerinin varlığıyla artmaktadır. Üretilen cihazların biyoalgılama uygulamaları için kullanım potansiyelleri ortaya konmuştur.