MRG için kateter takibi amaçlı elektromanyetik MEMS-tabanlı rezonatör tasarımı

Damar içi tıbbi müdahaleri manyetik rezonans görüntüleme (MRG) altında yapmak birçok açıdan avantajlıdır. Bu konuda, MRG uyumlu kateterlerin eksikliği önemli bir sorundur. Bu tez çalışmasında, MRG uyumlu kateter takibi amacıyla geliştirilen MEMS rezonatör yapılarının tasarım, üretim ve karakterizasyonuna değineceğiz. Bu yapılar için tahrik mekanizması Lorentz kuvvetine dayanmaktadır. Kuvveti oluşturan akım kateterin yer bilgisini taşımaktadır. Bu çalışmanın asıl özgün yönü ise tahrik mekanizmasında MRG cihazı içerisindeki manyetik alandan faydalanılmasıdır. Bu halihazırda var olan çok güçlü manyetik alanın kullanılması düşük güç kullanımının önünü açmaktadır. Bununla birlikte, MRG dışına sinyalleri optik yöntemlerle aktarmak, metal kablo kullanımını önleyerek, bu hatlardaki ısınma probleminin önüne geçmektedir. Bu çalışmada lazer Doppler titreşimölçümü ve kırınım ızgarası girişimöl-çümü yöntemleri üzerinde durulmaktadır. Bu konuda gerekli teorik bilgi tezde ve-rilmiştir. Yapıların dinamik özellikleri sonlu eleman analizi simülasyonları ile incelenmiştir. Üç maskeli bir üretim süreci geliştirilmiş ve temizodadaki süreç açıklanmıştır. Sonuç olarak bizim için gerekli en yüksek ayrıntı seviyesi olan 4 µm periyot ve %50 boşluk değerine sahip kırınım ızgaraları başarıyla üretilmiştir. Karakterizasyon aşama-sında yapıların dinamik karakterleri tespit edilmiştir. Sonuçlar yapıların elektromanye-tik tahrik mekanizması ile çalışabildiklerini ve bunun optik olarak algılanabildiğini göstermektedir. İlgilenilen frekans aralığında, 0.13 T manyetik alan ve 0.4 mA rms akımı için, işaret-gürültü oranı 20 üstü olarak ölçülmüştür.