Terahertz uygulamaları için frekans seçici yüzeyler

Bu tez, standart mikrofabrikasyon teknikleri kullan ılarak üretilebilecek Terahertz (THz) frekans se çici y üzeyleri (FSY) i çermektedir. FSY yapı ları medikal g ör ünt üleme ve g üvenlik uygulamaları i çin kritik önem arz eden 0.8 THz yak ını ndaki frekans de ğerlerine uygun olacak şekilde tasarlanm ıştı r. Bu t ür uygulamalarda THz dalgaları kullan ıldı ğı nda, çok katmanlı FSY yap ıları geni ş d üz bant yanı t de ğerleri, geli ş a çı sı ndan d üşük d üzeyde etkilenmeleri ve d ü ş ük kayı p d üzeyleri sebebiyle tercih edilmektedir. THz b ölgesinde performansı geli ştirmek amacı yla üretilen bu yapı lar çok ince alt katman ve membranları n kullanı mı nı gerektirmektedir. Çok katmanlı yapı ları n üretimindeki bu zorlu ğu azaltmak amacı yla, 100 um kalı nlı ğı ndaki cam membran yap ını n 500 u m kal ınlı ktaki bir cam par çadan HF tabanlı asidik a şı ndı rmayla elde edilmesini i çeren bir fabrikasyon i şlemi önerilmi ştir. Bu fabrikasyon i şlemi kullanı larak tasarlanan ü ç farklı tek katmanl ı FSY, y üksek frekans yapı sal sim ülat ör (HFSS) ortamı nda ara ştı rı lmı şt ır. İlk tasarı m %95 ge çirgenli ğe sahip olan 0.042 THz bant aralı ğı na sahip, bu bant aralı ğı 30 derecelik geli ş a ç ışı na kadar sabit kalmaktadı r. Bu tasarı mda 100 u m kalı nlı ktaki Pyrex cam membran üzerinde yer alan kare seklindeki metal yap ı i çerisindeki çembersel bir halka yarı ğı ndan olu şur. İkinci tasarı m %95 ge çirgenli ğe sahip olan 0.015 THz bant aralı ğı na sahip, bu bant aralı ğı 30 derecelik geli s a çısına kadar sabit kalmaktadı r. İkinci tasarı m, 100 u m kalı nlı ktaki Pyrex cam membran üzerinde yer alan ü ç kutuplu bir yap ıyı i çermekte iken, üç ünc ü tasarı m %95 ge çirgenli ğe sahip olan 0.015 THz bant aralı ğı na sahip, bu bant aralı ğı 20 derecelik geli ş a ç ıs ına kadar sabit kalmaktad ır. Üçünc ü tasarı m, 100 u m kalı nlı ktaki Pyrex cam membran üzerinde yer alan üçgensel halka yarı ğı n yer ald ığı kare şeklindeki bir metalden olu şmaktadı r. Bu tasarı mlar, THz spektroskopi uygulamaları nda hali haz ırda kullanı lan örnek ta şı yı cı lardaki yansı maları n daha basit fabrikasyon metotları ile üretilen tek katmanl ı FSY yapı ları kullan ılarak daha az d üzeylere indirilebilece ğini g östermektedir.