AlSiN-AlSiO kaplamaların üretilmesi,yapısal ve tribolojik özelliklerin araştırılması

Bu çalışmanın amacı AlSiN ve AlSiO kaplamaların sıçratma tekniği kullanılarak üretilmesi ve yapısal, mekanik ve tribolojik özelliklerinin araştırılmasıdır. Kaplama işleminde AlSiN ve AlSiO için %5, %10, %15 miktarlarında azot ve oksijen gazları kullanılmıştır. AISI D2 çelik taban malzemeler üzerine AlSiN(%5, %10, %15 Azot) ve AlSiO(%5, %10, %15 Oksijen) çok katmanlı kaplamalar yapılmıştır. Filmler ilk üretildiğinde amorf yapıda olduğu tespit edilmiştir. Kristal yapı elde etmek için ısıl işlem uygulanması gerekmektedir. AlSiN(%5, %10, %15 Azot) ve AlSiO(%5, %10, %15 Oksijen) kaplamaların kristal hale getirilmesi için 550°C de 2 saat ısıl işlem yapılmıştır. Filmlerin tribolojik, yapısal, mekanik özelliklerini belirlemek için XRD, aşınma testi, ısıl işlemler, Knoop mikro sertlik test cihazı,3D Profilometre, SEM ve EDS analizleri yapılmıştır. Yapılan deneyler sonucunda elde edilen verilerden AlSiN- AlSiO kaplamalarda %5 Azot - Oksijen, %10 Azot - Oksijen, %15 Azot - Oksijen şeklinde karşılaştırmalar yapılmıştır. %5, %10, %15 Azot ve benzer şekilde %5, %10, %15 Oksijen miktarıyla elde edilen kaplamalar kendi içlerinde de karşılaştırılmıştır. En yüksek sertlik değeri 595 HK ve en düşük sürtünme katsayısının ise 0.47 olduğu tespit edilmiştir. Ayrıca en düşük aşınma oranı için 7.85x〖10〗^(-5)değeri elde edilmiştir.