Fabrication and characterization of zinc oxide based surface acoustic wave devices

Bugün bildiğimiz anlamda kullanılan yüzey akustik dalga (SAW) aygıtları, ilk olarak 1965?te tanıtıldı. Televizyon ve cep telefonu gibi tüketici ürünlerinde kullanılan band geçiren filtreler bu cihazların en yaygın kullanım alanıdır. SAW aygıtlar ayrıca kimyasal ve biyolojik algılayıcı olarak da kullanılabilir. SAW algılayıcı geliştirmenin arkasında yatan temel neden bu cihazların küçük boyutlu, yüksek hassasiyette ve dayanıklı olmalarıdır. Bu tez ZnO/Si yapısına dayalı SAW aygıtının geliştirilmesini ve nitelendirilmesini sunmaktadır. C-eksen yönelimli ZnO ince filmler, sıçratma yöntemi ile kaplanmıştır. Kaplama sonrasında uygulanan tavlamanın ZnO yapısına ve SAW aygıt başarımına etkisi detaylı bir şekilde incelenmiştir. 600C üzerindeki sıcaklıklarda tavlamanın SAW aygıtı olumsuz etkilediği tespit edilmiştir. ZnOin yüzey pürüzlülüğü tavlama sıcaklığı arttıkça artmaktadır. Kaynaklar, pürüzlülük artışını aygıtın tavlama sıcaklığı artışına dayalı bozunumunun nedenlerinden biri olarak vermektedir. Bu çalışma ise bozunumun yüzey pürüzlülüğünden kaynaklanmadığını göstermektedir. Tavlamanın aygıt başarımı üzerindeki etkisine ek olarak, ZnO/Si yapısının arasına SiO2 eklenmesinin ve ZnO kalınlığının da aygıt başarımına etkileri incelenmiştir.