Silisyum fotonik süzgeçlerin termo-optik ayarı için mikroısıtıcı tasarımı

Mikroısıtıcı, dirençli ısıtıcının küçük ölçekli sürümüdür ve ısı üretimi için Joule ısıtma kullanmaktadır. Düşük kaplama alanına ve güç tüketimine sahip olması, mikroısıtıcının birçok alanda kullanılmasına olanak sağlamıştır. Silisyumun yüksek termo-optik katsayısı, bu yapının silisyum fotonik çalışmalarında kullanılmasına olanak sağlamıştır. Bu çalışmada, fotonik süzgeçlerimiz için verimli bir mikroısıtıcı tasarlamaya odaklanmaktadır. İlk olarak, uygun mikroısıtıcı geometrisi belirlenmiştir çünkü bu yapının geometrisi, mikroısıtıcının güç tüketimi ve ısıtılacak aygıtın sıcaklık homojenliği üzerinde çok önemli bir etkiye sahiptir. Uygun geometrik yapı seçildikten sonra bu mikroısıtıcının özelliklerinin belirlenmesi iki bölüme ayrılır. Bu özellikler, ısıtılan cihazdaki sıcaklık farkını azaltmada önemli bir rol oynamaktadır. İlk bölümde ısıtıcı yolları arasındaki ayrım belirlenmiştir. İkinci bölümde ise mikroısıtıcının cihaz üzerindeki taşma oranı belirlenmiştir. Mikroısıtıcı yapısının tüm özellikleri belirlendikten sonra benzeşim ortamında elektriksel ve ısı özellikleri incelenmiştir. Son olarak sınıfının en iyi mikroısıtıcıları ile karşılaştırılmış ve başarım farklılıklarının nedenleri incelenmiştir.