Explorations on optomechanical devices for energy sink applications

Rezonans enerjisi dağıtım mekanizması, algılama uygulamaları alanında önem kazanmaktadır. Buna istinaden hareketin geçici halinde, hızlı ve kesin ölçüm kendisine ulaşmak hedeflenmektedir. Optomekanik teknolojisindeki son yıllardaki gelişmeler bu şekilde hızlı bir sistemi ulaşılabilir kılmıştır. Bu çalışmada, bir silisyum nitrür optomekanik sistemi tasarımı, kurulumu ve ölçümü incelenmıştir. Dizaynın temel parametreleri, simülasyon analizleriyle incelenmiştir. Saçılım ızgaraları, dalga kılavuzları ve rezonatör parametreleri araştırılmış ve değerlendirilmiştir. Bir dizi optik rezonans yanıtları gözlemlenmiş ve, dizayn parametrelerinin farklı kombinasyonlarındaki optomekanik cihazlar için rezonans karakteristikleri incelenmiştir. Farklı nanomekanik ışın modülasyon düzenlerindeki cihazlarda ölçümler yapılmıştır. Bu tekniği optik alanında mikrodalga alanına cevirmek için bir Bölünmüş halka rezonatörü (SRR) kavitesi ve NEMS cihazı araştırılmıştır. Değiştirilmiş (modified) kavite tasarımın mod simülasyonu yapılmıştır. Yalıtım sağlayıcı bir yüzeyde önceden var olan bir düzene(pattern), Elektron Işın Litografisi (EBL) hizalama tekniği en iyi hale getirilmeye çalışmıştır. Çalışılan tasarımları, gerçek zamanlı kütle ölçümü uygulamalarında ve enerji dağılım mekanizmalarındaki temel araştırmalarda yeni olanak olduğunu göstermektedir.