Design, implementation, manufacturing and measurements of Dickson charge pump circuits for capacitive micromachined sensor biasing

Bu çalışma kapasitif mikroişlemeli sensörlerin sürülmesi için Dickson şarj pompası devrelerinin tasarım ve test süreçlerini içermektedir. Birbirinden farklı işlevlere sahip devrelerin alt bileşenleri incelenmiştir, örneğin: invertör devreleri, diyot bağlantılı tranzistörler, halka osilatörler, bağlantı pedleri, şarj pompaları. Bu devrelerin layout tasarımları yapılmış ve parazitik elemanlar hesaplanıp devreler simüle edilmiştir. 5 Volt kaynak gerilimi ile beslenen devreler ile 12-15 Volt çıkış gerilimi elde edilmesi amaçlanmıştır. Sonlandırılan layout tasarımları 0.35 μm'lik üretim teknolojisine sahip bir çipe yerleştirilmiştir. Tasarlanan çip üretilmiş ve bir test kartına tel bağlaması ile bağlanmıştır. Ölçüm sonuçları sunulmuş ve incelenmiştir. Sonuçlardan yola çıkarak layout ve devre tasarımlarının daha iyi çalışacak versiyonları tasarlanmış ve simüle edilmiştir. Gelecekteki tasarımların daha sağlıklı yapılabilmesi için gereken adımlar sunulmuş ve alınabilecek önlemler önerilmiştir. Bu çalışma gelecekte istenilen şartları fonksiyonel olarak sağlayan ve doğrulanabilecek olan tasarımların yaratılması için bir ön ayak olmuştur.