Nonuniform membranes in capacitive micromachined ultrosonic transducers

ÖZET KAPASİTİF MİKRO-İŞLENMİŞ ULTRASONİK ÇEVİRİCİLERDE DÜZGÜN OLMAYAN ZARLAR Muhammed N. Şenlik Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Yüksek Lisans Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Abdullah Atalar 28 Ocak 2005 Kapasitif mikro-işlenmiş ultrasonik çeviriciler (kMUÇ), ultrasonik sinyallerin alımında ve yollanmasında kullanılırlar. Cihaz mikron mertebesindeki birçok ufak zarın paralel bağlanmasıyla oluşturulur. Suda çalıştırıldıklarında, kMUÇ'un bant genişliği, zarın mekanik empedansının artmasına sebep olan, zarın ikinci rezonans frekansı ile sınırlıdır. Bu tezde ikinci rezonans frekansını zarın empedansını mümkün olduğunca ufak tutarak daha yukarı çıkaran yeni bir zar şekli öneriyoruz. Yapı ortasında sert bir kütle olan çok ince bir zardan oluşmaktadır. Ortadaki kısmın sertliği ikinci rezonansı daha yüksek frekanslara çıkarmaktadır. Bu zar yapısının alma ve yollama açısından şu an kullanılmakta olan zarlardan daha iyi olduğu gösterilmiştir. Bant genişliğindeki iyileşme kazançta artışla birlikte %30'dan daha fazladır. Anahtar sözcükler: Kapasitif mikro-işlenmiş ultrasonik çevirici, kMUÇ, düzgün olmayan zar.