Kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle SnO2 kaplamaların üretilmesi

Anahtar kelimeler: Kalay oksit, CVD, Kristalin, Elektro-optik Cam üzerine kaplanmıs kalay-oksit filmleri iletken elektrotlar, görünür ısık(dalga boyunda), yüksek geçirgenlik, kızıl ötesi yansıtıcılık, günes pilleri elektrotları vb. alanlarda teknolojik öneme sahiptirler. Kalay-oksit filmi reaktif püskürtme, sprayproliz sol-jel, Fiziksel Buhar Biriktirme(PVD), Kimyasal Buhar Biriktirme(CVD) tekniği gibi çesitli metotlar ile üretilebilir. Bu çalısmada Kalay oksit filmlerinin elektronik, optik ve opto?elektronik cihazlarda kullanımı için özellikleri arastırılmıstır. Kalay oksit filmler atmosferik basınç altında ve farklı sıcaklıklarda (400,500 ve 600ºC'lerde) cam altlık üzerine kimyasal buhar biriktirme(CVD) yöntemi ile biriktirilmistir. Biriktirme zamanı 15 dakika ile 60 dakika arasında 15 dakika aralıklar ile değistirilmis ve biriktirme zamanının etkisi incelenmistir. Kaplama yapılacak reaktör içine SnCl2 buharı 5 scpm debi ile sisteme verilen oksijen ile tasınmıstır. Yapı, Taramalı Elektron Mikroskobu(SEM) ve X-ısınları difraktometresi(XRD) ile analiz yapılmıstır. Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) çalısmaları ile de biriktirme mekanizmalarının ve kristalin yapının belirlenmesi amaçlanmıstır. Aynı zamanda üretilmis filmlerin elementel kompozisyonunu anlamak için Enerji Dağılım Spektroskopisi(EDS) kullanılmıstır. Elde edilen morfoloji ve oksitli yapının biriktirme zamanı ve sıcaklık değisimine bağlı olarak değistiği görülmüstür. Aynı zamanda fiziksel özellikler ve ince filmlerin üretim yöntemleri arasındaki iliskiyi gözlemlemek için optik ve elektriksel özellikler de çalısılmıstır.