A micromachined pressure sensor

Kapasitif mikroişlenmiş ultrasonik çevirici (CMUT), basitçe, aralarında boşluk bulunan hareket eden bir üst elektrot ile sabit bir alt elektrottan oluşan mikroelektromekanik bir cihazdır. Bu sade kütle-yay yapısına rağmen, CMUT lineer olmayan bir cihazdır ve çalışma prensipleri son zamanlarda formüle edilmiştir. Bu çalışmalara göre, üzerine uygulanan basınç ile üst elektrot hareket ettirilebilir ve basıncın miktarına göre de CMUT'ın rezonans frekansı değiştirilebilir. Dolayısıyla, CMUT'ı bir basınç sensörü elde etmek için kullanmak mümkündür. Bu açıdan, basıncı ortaya çıkarmak için yapmamız gereken şey CMUT'ın rezonans frekansını takip etmektir. Bunun en etkin yolu ise, bize CMUT'ın rezonans frekansını gerçek zamanlı takip etme kabiliyetini de sağlayan osilatör kullanımıdır. Ayrıca, CMUT ile çalışan entegre devreler dizaynı içinse en iyi yol Colpitts osilatörden yararlanmaktır. Bu tezde biz entegre devre (IC) düzeyinde bir dizayn hedeflediğimizden, CMUT tabanlı Colpitts osilatör ile bir basınç sensörü dizayn ediyoruz.