Pasıf Al2O3 optik halka rezonatör sensör tasarımı

Tümleşik optik devreler, kompakt boyutları, yüksek hassasiyetleri, düşük güç tüketimleri, hızlı işleme hızları ve elektronik bileşenlerle yüksek entegrasyonları nedeniyle çeşitli alanlarda ve uygulamalarda popülerlik kazanmıştır. Optik halka rezonatörleri, tıbbi teşhis, çevre izleme, algılama ve telekomünikasyon gibi uygulamalarda yaygın olarak kullanılan tümleşik cihazlardır. Giriş ve çıkış dalga kılavuzları arasındaki bağlantıyı tasarlayarak optimize edilebilecek çeşitli işlevler sunarlar. Malzeme platformları ve imalat teknikleri de dahil olmak üzere bu cihazların performansını optimize etmek için araştırmalar devam etmektedir. Bu tez, optik halka rezonatörü için alümina (Al2O3) malzemesinden ve alt tabaka için silika (SiO2) malzemeden yapılmış bir optik halka rezonatör sensörü tasarlamaya odaklanmaktadır. Tüm hesaplamalar ve simülasyonlar için ticari olarak mevcut olan Synopsys RSoft BeamPROP, Lumerical, ve MATLAB yazılımları kullanılmıştır. Tasarlanan optik halka rezonatör sensörü, hassasiyetindeki verimliliği nedeniyle tümleşik optik algılama için son derece uygundur. Sonuçlar, tasarlanan optik halka rezonatör sensörünün literatürde tanımlanan diğer tasarımlara kıyasla yüksek hassasiyet ve verimlilikle tümleşik optik algılama için üstün bir seçenek olduğunu göstermektedir.