Silicon based dielectrics: Growth, characterization, and applications in integrated optics

Silisyum tabanlı dielektriklerin ustün optik üzellikleri ve kırılma indislerinin genişüu o saralıkta ayarlanabilirliği bu malzemelerin tümleşik optikte kullanılmasına yünelikg u s oşalışmalarda büyük ilgi şekmesine neden olmaktadır.cs uu cBu şalışmada silisyum tabanlı dielektriklerin tumleşik optik aygıtlarda kul-cs slanımları amaşlanarak optik üzellikleri ve kompozisyonları incelenip optimizec oedildi. Fourier dünüşumlü spektroskopi kullanılarak yapılan ayrıntılı kom-o us ü upozisyon analazi sonucunda germanosilikat dielektrikleri tümleşik optik uygula-u smaları işin en uygun malzemeler olarak tespit edildi. Prizma şiftlemesi yüntemic c oile germanosilikat düzlemsel dalga kılavuzlarında ilk defa farklı kırılma indisliumalzemeler işin karşılaştırmalı optik kayıp ülşumleri yapıldı. Bu şalışma net-c ss o cü csicesinde literatürde ısıl olarak tavlanmamış λ = 1.55 µm dalga boyunda en düşuku s usükayıplı duzlemsel dalga kılavuzları elde edildi.Prizma şiftlemesi tekniğinin geliştirilmesi ile polimerler gibi yumuşakc g s smalzemelerin elesto-optik üzelliklerinin ülşulebilmesi sağlanmıştır. Bu yenio o cü g syüntem ile eşzamanlı olarak yapılan farklı yünlü optik indis ülşumleri ve dikeyo s ou o cüyünlü mekanik sabit ülşumleri kullanılarak, ince polimer tabakaların elasto-optikou o cükatsayıları bulunabilmiştir.sGermanosilikat dielektriklerinin electro-optik üzelliklerini arttırmak hedefi ileoPECVD yüntemi ile yapılan büyütme koşulları ile ısıl kutuplama şartları optimizeo uu s sedildi. Bunun sonucunda şu ana kadar silika cam tabanlı malzemelerde edilmişs sdoğrusal olmayan en büyük katsayının iki katı elde edildi.g uuSon olarak, germanosilikatlara dayalı tümleşik optik aygıtlar uretildi. Bunlaru s üviviiarasında ilk olarak tek kipli dalga kılavuzları uretilip incelendi. Calışmanın so-ü şsnunda germanosilikatlara dayalı halka şınnaş aygıtları tasarlandı, optimizasyonc cşalışmasını müteakip üzellikleri ülşuldü.cs u o o cü uAnahtar süzcükler : Tümleşik optik, Silisyum dielektrikler, Silisyum oksit, Sil-ou u sisyum oksinitrat, Germanium, Germanosilikat, PECVD, FTIR, Dalga Kılavuzu,Optik soğurma, Prizma şiftlemesi, Elastik katsayı, Elasto-optik katsayı, Doğrusalg c golmayan katsayı, Electro-optik katsayı, Isıl tavlama, Halka şınlaş.c c