Sol-jel yöntemi ile hazırlanan TiO2 ince filmlerin optik özelliklerinin belirlenmesi

SOL-JEL YÖNTEM LE HAZIRLANAN TiO2 NCE F LMLER NOPT K ÖZELL KLER N N BEL RLENMESSerdar BARDAKÇIÖZETAnahtar Kelimeler; Sol-Jel yöntemi, TiO2, ince film, optik geçirgenlik, kırma indisiBu çalışmada TiO2 ince filmler sol-jel yöntemi kullanılarak cam taşıyıcı üzerinekaplanmıştır. Bu işlem için gerekli çözelti uygun miktarlarda titanyum(IV) n-butoksit, etanol, asetik asit ve deiyonize su içermektedir. Filmlerin cam taşıyıcıüzerine kaplanmasında 84mm/dak düşey hızla daldırma yöntemi kullanılmıştır veçok katmanlı filmler hazırlanmıştır. Her kaplama sonunda 10 dakika süresince 1100C'de kurutma işlemi yapılan filmler son olarak 550 0C'de 1 saatlik ısıl işleme tabiitutulmuştur. Film kalınlığı, katman sayısı ve son ısıl işlem öncesi yapılan kurutmaişlemlerine bağlı olarak değişmektedir.Filmlerin kristal yapı analizleri X-ışınları kırınım cihazı (XRD) kullanılarakyapılmıştır. Bu analizler neticesinde TiO2 filmlerin anatase yapıda olduğugörülmüştür.UV spektrometre ölçüm sonuçları TiO2 ince filmlerde kalınlığa bağlı olarak belli birdalga boyunda geçirgenliğin %99-100 olduğunu, UV bölgesinde ise ışığınsoğrulduğunu göstermiştir. Elde edilen geçirgenlik eğrisindeki minimumlarkullanarak yapılan hesaplamalarda kırma indisinin 2,08-2,13 arasında değiştiğiortaya konulmuş, film kalınlığı ile kırma indisi arasında kesin bir ilişkigözlenmemiştir.