Toplam iyonize dozun Er2O3/HfO2/Er2O3 tabanlı bellek hücresinin yük depolama kapasitesi üzerindeki etkileri

Co-60 gama radyasyonunun Er2O3/HfO2/Er2O3 tabanlı bellek hücresi üzerindeki etkileri ayrıntılı olarak incelenmiştir. Ayrıca bellek hücrenin yapısal ve elektriksel özellikleri de analiz edildi. Bellek hücrenin yapısal özelliklerini analiz etmek için Transmisyon Elektron Mikroskobu (TEM) kullanılmıştır. Bellek hücrenin elektriksel özelliklerini analiz etmek amacıyla bırakılan ve 3500C ve 7000C'de tavlanan numuneler için Kapasitans-Gerilim (C-V) ve İletkenlik-Gerilim (G/w-V) ölçümleri yapılmıştır. Bellek penceresinin artan tavlama sıcaklığı ile arttığı görülmüştür. Bu artış, oksit tuzağı yüklerindeki artıştan kaynaklanmıştır. 7000C sıcaklığında tavlanan numune en büyük bellek penceresine ve yüksek oksit kapasitansına sahip olduğundan optimum tavlanma sıcaklığı olarak seçilmiştir. Bu sıcaklığında tavlanan numune daha sonra hücrenin elektriksel özellikleri üzerindeki radyasyon etkilerini incelemek için kullanılmıştır. Gama radyasyonunun, hücrenin hafıza penceresi üzerinde önemli bir etkiye sahip olduğu bulunmuştur.