A combined LQG and repetitive controller for high performance AFM scanning

Yüksek hızlardaki AKM taramalarında görüntü kalitesini artırmak için, LQG ve tekrarlı kontrolcü (TK) kullanan tümleşik bir yapı önerilmiştir. Önerilen LQG+TK tasarımında kullanılan kontrolcü değişkenlerinin, tarama hatasını en aza indirecek şekilde, en iyi değerlerini hesaplamak için, önce tarama işleminin bir MATLAB/Simulink modeli oluşturulmuş ve sonra bu model üzerinde genetik algoritmalar çalıştırılmıştır. Tasarımımızda kullandığımız LQG kontrolcü geleneksel PI kontrolcüsüne göre daha gürbüzdür ve daha iyi izleme başarımı sağlar. Ayrıca, bizim yaklaşımımızda, her tarama satırının profili sistemi bozucu bir etki olarak kabul edildiği için, önerilen LQG kontrolcüsü tarama profilindeki büyük değişimlerin geleneksel PI kontrolcüsüne göre daha iyi üstesinden gelir. Öte yandan TK, kontrolcü bant genişliğini artırarak izleme başarımını daha da iyileştirir. Simulasyon ve deneysel sonuçlarımız önerilen LQG+TK tasarımının daha önceki çalışmalarımızda kullanılan PI+TK yapısından daha iyi olduğunu gösteriyor.