Nano yapılı titanyum dioksit ince filmlerin büyütülmesi ve nem sensörlerinin üretilmesi

Bu çalışmada, nano yapılı TiO2 numuneleri hidrotermal yöntem ile hazırlandı. Hazırlanan TiO2 numuneleri taramalı elektron mikroskobu(SEM), atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ve FT-IR teknikleri ile karakterize edildi. Numunelerin optik band aralıkları 3.12-3.15 eV aralığında bulundu. Numunelerin elektriksel iletkenliği sıcaklığın fonksiyonu olarak ölçüldü. Kuartz kristal mikro terzi sensörleri hazırlandı ve sensörlerin duyarlılık özellikleri detaylı olarak analiz edildi. Elde edilen sonuçlar TiO2 nano parçacıklarının nem sensörü uygulamalarında kullanılabileceğini göstermiştir.