Master'sOpen Access

State feedback control for adjusting the dynamic behavior of a piezo-actuated bimorph AFM probe

Is this your thesis?

This record came from a bulk archive import. If it’s yours, link it to your profile.

2009
0 views
0 downloads

Abstract (TR)

Bu tezde, tam durum geri beslemeli kontrol yöntemiyle biri piezo olmak üzere iki katmanlı olan Atomik Kuvvet Mikroskobu (AKM) probunun geçiş dinamiği incelenmiş ve değiştirilmiştir. Bu yöntem sayesinde probun kalite faktörünü ve rezonans frekansını istediğimiz değerlere eşzamanlı olarak ayarlayabiliyoruz. Bunun için ilk olarak geri besleme kazançlarının probun dinamiğine olan etkisini inceledik ve sonra probun zaman sabitinin kalite faktörünü azaltarak ve/veya rezonans frekansını arttırarak düşürülebileceğini gösterdik. Zaman sabitinin düşürülmesi neticesinde AKM ile yapılan tarama sonuçlarında hatayı azalttık.

Author

Bilal Örün

How to Cite

Bilal Örün (Yüksek Lisans Tezi). State feedback control for adjusting the dynamic behavior of a piezo-actuated bimorph AFM probe, 2009, Koç University, Makine Mühendisliği Bölümü.

Keywords

License

Tüm Hakları Saklıdır

This work is shared under the specified license terms.

More theses from Koç University