Yüksek LisansAçık Erişim

State feedback control for adjusting the dynamic behavior of a piezo-actuated bimorph AFM probe

Bu tez size mi ait?

Bu kayıt toplu arşivden geldi. Sizinse profilinize bağlayın.

2009
0 görüntülenme
0 i̇ndirme

Özet (TR)

Bu tezde, tam durum geri beslemeli kontrol yöntemiyle biri piezo olmak üzere iki katmanlı olan Atomik Kuvvet Mikroskobu (AKM) probunun geçiş dinamiği incelenmiş ve değiştirilmiştir. Bu yöntem sayesinde probun kalite faktörünü ve rezonans frekansını istediğimiz değerlere eşzamanlı olarak ayarlayabiliyoruz. Bunun için ilk olarak geri besleme kazançlarının probun dinamiğine olan etkisini inceledik ve sonra probun zaman sabitinin kalite faktörünü azaltarak ve/veya rezonans frekansını arttırarak düşürülebileceğini gösterdik. Zaman sabitinin düşürülmesi neticesinde AKM ile yapılan tarama sonuçlarında hatayı azalttık.

Yazar

Bilal Örün

Bu Yayına Nasıl Atıf Yapılır

Bilal Örün (Yüksek Lisans Tezi). State feedback control for adjusting the dynamic behavior of a piezo-actuated bimorph AFM probe, 2009, Koç University, Makine Mühendisliği Bölümü.

Anahtar Kelimeler

Lisans

Tüm Hakları Saklıdır

Bu eser belirtilen lisans koşulları altında paylaşılmaktadır.

Koç University tezlerinden daha fazlası