Co, Co2 gazlarının Al/Al2o3/ p-Si yapısının elektriksel özelliklerine etkisi

Bu çalışmada, atomik tabaka biriktirme (ALD) metoduyla Al/Al2O3/p-Si metal- oksit-yarıiletken yapı üretilmiştir. Üretilen numunenin gaz ortamında (karbonmonoksit ve karbondioksit), farklı sıcaklıklarda (350 K-375 K-400 K ve 450 K) ve farklı gaz konsantrasyonlarında (2000 ppm-1000 ppm- 500 ppm- 250 ppm- 125 ppm- 50 ppm) zamana bağlı olarak elektriksel karakterizasyonu yapılmıştır. CO ve CO2 gazının her ikisi içinde gaz konsantrasyonu arttıkça duyarlılıklar artmıştır. 2000 ppm gaz konsantrasyonunda, her iki gaz içinde maksimum duyarlılıklar elde edilmiştir. Artan sıcaklıkla duyarlılıkta artma meydana gelmiştir. Numunenin her iki gaz için en uygun çalışma sıcaklığının ölçülen sıcaklık değerleri içinde 450 K?de olduğu gözlenmiştir. Bu sıcaklık değerinde, CO gazı için duyarlılık %19 iken, CO2 gazı için duyarlılık %28 olarak belirlenmiştir.