High-q micromechanical resonators and filters for ultra high frequency applications

Radyo Frekansı Mikro Elektro Mekanik Sensörler alanında yakın zamandagerçekleşen gelişmeler, komünikasyon teknolojisinde geniş çapta kullanılan yüksekkalite faktorlü entegre edilemeyen makroskobik parçaların mikroskobikparçalarla yer değiştirmesi için umut verici sonuçlar göstermiştir. Radyofrekanslarında, 10,000'den fazla kalite faktörüne sahip titreşimli mikromekaniksilikon rezonatörler üretilmiş durumdadır. Yüksek kalite faktörlü mikrorezonatörleri temel blok olarak kullanan mikromekanik filtreler ve osilatörlerüretilmiş durumdadır. Bu elemanların üretim teknikleri CMOS teknolojisiyleuyumlu haldedir. Bu sebeple, mikromekanik elemanları entegre devrelerle beraberüreterek tek parça alıcı-vericiler üretmek mümkün olabilir. Bu çalışmadamikromekanik rezonatörlerin genel çalışma karakteristigi incelenmiş ve orijinalbir mikro rezonatör ve mikro filtre örneği tasarlanmıştır. Yüksek frekanslımikromekanik rezonatörler, kalite faktörlerini belirleyen bağlantı kayıplarındandolayı performans sorunu yaşamaktadır. Çalışmamızda, uzama biçimindetitreşim gösteren rezonatörler için orijinal bir bağlantı kaybını azaltma tekniğiönerilmektedir. Önerilen yapıların üretim aşamaları mevcut eşleniklerininkinegöre daha kolaydır. Bağlantı kaybını azaltma tekniği, mevcut yapılarda kullanımıiçin ekstra zorluklar doğurmamaktadır.