Design and fabrication of electrostatically actuated nanotweezers by guided self-assembly

Objelerle nano metrik hassasiyetle etkileşim kabiliyeti olan nano ölçekli uçlara sahipNano-Elektro-Mekanik Sistemlerin (NEMS) nano bilim ve teknoloji alanlarında pekçok uygulaması bulunmaktadır. Bunların arasında, DNA molekülleri, karbon nanotüpler, nano teller ve nano parçacıklar gibi nano ölçekli objelerin tutulmasını vehareket ettirilmesini mümkün kılan nano cımbızların önemi büyüktür.Bu yüksek lisans tezi, elektrostatik hareket prensibi ile çalışan ve yönlendirilmişkendinden birleşme metodu ile üretilen nano tel uçlara sahip nano cımbızlarıntasarım ve üretimi ile ilgilidir. Başlıca amaç, işlem karmaşıklığını azaltacak ve olasıtasarım değişikliklerini mümkün kılacak şekilde, nano tellerin mikro elektronik ile tekbir üretim serisi içerisinde bütünleşmesini sağlamaktır. İkinci bir amaç ise, yüksekhassasiyetle kontrol sağlayan ve nano ölçekli uçlara sahip bir hareketmekanizmasının tasarımıdır.Bu tezin ana başarıları, (1) yönlendirilmiş kendinden birleşme yöntemi ile nano telüretimi için elekrodepozisyon işleminin optimizasyonu, (2) elektrostatik prensiplehareket eden taraklardan oluşan bir hareket mekanizmasının tasarım ve analizi, (3)nano cımbızlar için alternatif bir termal hareket mekanizmasının tasarım ve analizi,(4) nano cımbızların Kopenhag'daki, Danimarka Teknik Üniversitesi (DTU) Mikro veNano Teknoloji Departmanı'nda (MIC), üretilmesi ve (5) nano cımbızların mekaniktest ve karakterizasyonunun yine MIC ve Koç Üniversitesi (KU) temiz oda tesislerindegerçekleştirilmesi şeklinde sıralanabilir.