Farklı alaşım oranlarına sahip 4 farklı malzeme için DLC kaplama kalitesinin bias değerlerine göre değişiminin incelenmesi

Bu tez kapsamında; pratik uygulamalar için geliştirilmiş, mekanik, tribolojik, termal ve korozif açıdan iyi özelliklere sahip, elmas benzeri karbon (DLC) ince filmlerin farklı alaşım oranlarına sahip metallere yapışma kalitesi incelenmiştir. DLC kaplama işlemi, PE-CVD prosesinde, iki farklı 'bias' parametresi kullanılarak yazılan programlar ile X40CrMoV5-1, 16MnCr5, 304 paslanmaz çelik ve K40XF sert metal malzemelerine uygulanmıştır. Farklı alaşım oranlarına sahip metallerin DLC kaplama kalitesi ve 'bias' parametresinin sonuçlara olan etkisi, laboratuvar ortamında yapılan mikroskobik incelemeler ve literatürde yer alan; kaplama kalınlığı, yapışma testi ve mikro sertlik ölçümleri yapılarak analiz edilmiştir. Bu incelemeler sonucunda, farklı alaşım oranlarına sahip metallerin ölçüm sonuçları arasında bir fark görülmemiş olup, farklı alaşım oranlarına sahip metallerin PE-CVD prosesi ile DLC kaplanabildiği gösterilmiştir. Buna paralel 'bias' parametresinin sonuçlara olan etkisi incelendiğinde, 'bias' parametresinin -200V'tan -250V'a çıkarılması, ortamdaki iyonizasyonu arttırmış olup, DLC kaplamanın daha sert ve daha kalın olmasını sağlamıştır.