Kimyasal buhar biriktirme (CVD) yöntemiyle Li-iyon pillere uygun ZnO anot geliştirilmesi

Son yıllarda, enerji ihtiyacındaki artış, teknolojinin gelişimine bağlı olarak artmaktadır. Özellikle, taşınabilir elektronik cihaz kullanımına olan büyük talep, şarj edilebilir pil ihtiyacına neden olmaktadır. Buna paralel olarak, daha güvenli, daha hafif ve daha yüksek kütlesel kapasiteye sahip li-ion piller ile ilgili olarak araştırma geliştirme çalışmaları yapılmaktadır.Bu tez çalışmasında kimyasal buhar biriktirme (CVD) yöntemi ile lityum iyon pillere uygun anot malzemelerinin geliştirilmesi amacıyla ZnO kaplamalar incelenmiştir. Çinko oksit kaplamalar Si wafer üzerine yapılmıştır. Kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle 200, 300 ve 400°C sıcaklıklarında 1, 3 ve 5 L/dk. saf O2 akış ile deneyler gerçekleştirilmiştir. Başlangıç malzemesi olarak çinko asetat dihidrat [Zn(CH3COO)2.2H2O] kullanılmıştır. Kaplama süreleri 10, 20 ve 30 dk. olarak belirlenmiştir. Farklı sıcaklık, süre ve gaz akış hızının mikro yapıya, tane boyutuna, yüzey pürüzlülüğüne ve iletkenliğe olan etkileri taramalı elektron mikroskobu (SEM), atomik kuvvet mikroskobu (AFM), x-ışınları kırınım ölçeri (XRD) ve dört nokta elektriksel özdirenç test cihazları ile incelenmiştir.