Grating loaded integrated optical cantilevers

Kaldıraç yapıları standard tarama uç mikroskopilerinin en önemli parçalarıdır. Bu çalışmada, kaldıraç bükülmesini tümleşik optik kullanarak ölçmek için bir yöntem önerildi ve gerçekleştirildi. Kaldıraç üzerine yüklenen bir kırınım ağı sayesinde kaldıraca düşürülen ışık yongaya çiftlendi. Ardından çiftlenen ışık optik adiyabatik geçiş ile fotodiyota ulaştırması için dalga kılavuzuna iletildi. Kaldıracın bükülmesi optik yolu değiştirdiğinden diyota gelen ışık şiddeti de buna göre değişti. Sonuçta elde edilen optik sinyal ölçüldü. 27.2 kalite faktörlü bir çınlama piki gözlemlendi. Kalite faktörü, çevreden gelen titreşimlerin daha iyi yalıtılması ve vakum ortamı sağlanması ile daha da geliştirilebilir.