Master'sOpen Access

Spatial and temporal symmetry breaking in nonlinear laser lithography

2023
0 views
0 downloads
Advisor: Doç. Dr. Fatih Ömer İlday

Abstract (TR)

Nonlinear sistemlerde simetri kırılması yaygındır. Bu durum Nonlinear Lazer Lithografi (NLL) için de geçerlidir, ultrahızlı lazer ışının bir malzeme yüzeyi üzerine incidensi malzeme yüzeyinin sonsuz katı döngüsel simetrisinin kırılmasına neden olur. Doğrusal polarizasyon durumunda, 2-katı döngüsel simetriye sahip çizgisel yapılar elde edilir. Oxidasyon NLL'nin oluşumuna (Oxidasyon NLL) ve malzeme ablasyonuna (Ablasyon NLL) dayalı iki tür NLL'yi tartışıyoruz. Her iki yapı türünün varlığı yıllardır bilinmektedir, ancak daha önce grubumuz tarafından oxidasyon yapılarının düzenliliği önemli ölçüde iyileştirilmiş iken, aynısı ablasyon yapıları için geçerli değildir. Burada, Oxidasyon NLL tekniği ve ablasyon yapıları parametreleri kullanarak, yüksek düzenli ablasyon yapıları elde ettik, bunları Ablasyon NLL olarak adlandırdık. Bu iki NLL yapısının aynı yüzeyde eş zamanlı olarak var olduğunu ve bunları nasıl döşeyebileceğimizi gösterdik. Ayrıca, NLL faz alanını keşfettik ve iki NLL yapısının işlediği faz alanı bölgelerini belirledik. Ayrıca, birçok metal ve silisyum üzerinde Oxidasyon ve Ablasyon NLL yapılarının elde edilebildiğini gösterdik. Ayrıca, NLL'de zaman simetri kırılmasını tartıştık. Lazer ışını yüzeye normal olmayan ve tarama yönüne doğru veya tarama yönünden uzak olmayan bir şekilde eğilirse, NLL yapılarının periyodunu azaltması veya artmasına neden olabilir. Bu şekilde, bir ışının video, bir çizgi boyunca yüzey üzerinde tarama yaparken bir desen oluştururken, ileriye doğru çalışıyor mu yoksa geriye doğru çalışıyor mu anlaşılabilir. Bu tarama yönüne bağımlılık, Doppler etkisi ile benzerdir ve bu simetri kırılmalarının gelecekteki bu alandaki araştırmalar ve bazı işletmeler için önemli olabileceği, burada tartışılan bazı uygulamalar da dahil olmak üzere, bu alandaki gelecekteki araştırmalar için önemlidir.

Author

Dr. Abdullah Bın Aamır

How to Cite

Abdullah Bın Aamır (Yüksek Lisans Tezi). Spatial and temporal symmetry breaking in nonlinear laser lithography, 2023, Bilkent University.

License

Tüm Hakları Saklıdır

This work is shared under the specified license terms.

More theses from Bilkent University