Master'sOpen Access

Radyo frekansı saçtırma yöntemi ile Titanyum Nitrür (TiN) ince filmlerin üretilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi

2016
0 views
0 downloads
Advisor: Yrd. Doç. Dr. Mehmet Özkan

Abstract (TR)

Özet:Bu çalışma kapsamında titanyum nitrür (TiN) ince filmler radyo frekansı saçtırma yöntemi ile cam tabanlar üzerine depolanmıştır. Elde edilen ince filmlerin mikro yapıları ve yüzey morfolojisi X - ışınları difraktometre (XRD), atomik kuvvet mikroskobu ve taramalı elektron mikroskobu (SEM) kullanılarak incelenmiştir. Filmlerin kalitatif analizleri ise enerji dağılımlı X - ışını spektroskopisi (EDX) ile yapılmıştır. Ayrıca UV-Vis spektrofotometri cihazı ile optiksel geçirgenlikleri belirlenmiştir.

Author

Dr. Murat Polater

How to Cite

Murat Polater (Yüksek Lisans Tezi). Radyo frekansı saçtırma yöntemi ile Titanyum Nitrür (TiN) ince filmlerin üretilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi, 2016, Afyon Kocatepe University.

Keywords

License

Tüm Hakları Saklıdır

This work is shared under the specified license terms.

More theses from Afyon Kocatepe University