Spin kaplama yöntemi ile benzocyclobutene (BCB 4022-35) polimer ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu

Elektronik iletişim endüstrisindeki hızlı, köklü ve nitelikli değişimler, polimer filmlerin özelliklerinin araştırılmasını önemli kılmaktadır. Polimer filmlerin özelliklerinin anlaşılması, yumuşak malzemelerin teknolojik alanlardaki çeşitli uygulamalar için başarılı kullanımında büyük bir rol oynamaktadır. Bu tez çalışmasında, yüksek şeffaflığa, kolay işlenebilirliğe, yüksek fiziksel, kimyasal, mekaniksel, termal kararlılığa ve ayarlanabilir kırılma indisine sahip Benzocyclobutene (BCB 4022-35) polimer ince filmler spin kaplama tekniği kullanılarak üretilmiştir. Üretilen BCB polimer ince filmlerin kalınlıkları ve kırılma indisleri çeşitli kaplama hızları ve kür zamanları için Prizma Bağlaşım sistemi ve profilometre ile karakterize edilmiştir. Nihai film kalınlıkları 2.60-5.22 ? m aralığında değişmektedir. BCB polimer filmlerin kırılma indisleri 632,8 nm dalgaboyunda 1.5845 ve 1553 nm dalgaboyunda 1.5606 olarak bulunmuştur. Ayrıca, BCB ince filmlerin kür seviyeleri FTIR spektrometresi kullanılarak tespit edilmiştir. Bu tez çalışması neticesinde optik dalga kılavuzu üretimi için uygun, yüksek kalitede polimer ince filmler elde edilmiş ve temel özellikleri yüksek doğrulukta belirlenmiştir.