ZnO ince filmlerinin kimyasal püskürtme tekniği ile üretilmesi ve optik özelliklerinin incelenmesi

Bu çalışmada Kimyasal Püskürtme ( Chemical Spray Pyrolysis) Yöntemi ile 350 50C taban sıcaklığında cam tabanlar üzerine ZnO ince filmi elde edilmiş ve elde edilen bu ince filmin yapısal ve optik özellikleri incelenmiştir. Tartı yöntemi kullanılarak 0,357µm kalınlığında olduğu hesaplanmıştır. Optik metod kullanılarak elde edilen ZnO ince filminin yasak enerji aralığı 2,9 eV olarak hesaplanmıştır. X- ışını toz kırınım deseninden, elde edilen ZnO ince filminin kristal yapısın hekzagonal ve wurtzite yapıda olduğu belirlenmiştir.Absorbans spektrumlarından faydalanılarak elde edilen ZnO ince filminin geçirgenlik, sönüm katsayısı, yansıma ve dielektrik sabitlerinin dalga boyuna karşılık grafikleri çizilerek optik özellikleri incelenmiştir.ZnO ince filminin kristal yapısı x- ışınları kırınımı tekniği ile 20o?2 ? 70o aralığında incelenmiştir. Görülen en keskin pikin (101) piki olduğu görülmüş ve ZnO ince filminin kristal yapısının hekzagonal ve wurtzite yapıda olduğu belirlenmiştir. ZnO ince filminin x ? ışını kırınım deseninden yararlanılarak a örgü sabiti 3,2475 Ao, c örgü sabiti 5,1734 Ao, tanecik büyüklüğü 17,834 nm, dislokasyon yoğunluğu 3,14x10-3 nm-2 olarak hesaplanmıştır. Ayrıca hesaplanan a, b ve c örgü sabitlerinin ASTM standartlarındaki değerlere yakın olduğu görülmüştür.Anahtar Kelimeler: Yarıiletken ince film, Kimyasal püskürtme tekniği, Yapısal ve optik özellikler, Yarıiletkenler, ZnO.