ZnO kristaline iyon dikme yöntemiyle metal aşılanması

ÖZET Anahtar Kelimeler: ZnO kristali, iyon dikme, girme mesafesi, nükleer durdurma. İyon dikme maddelerin yüzey özelliklerim geliştirmede kullanılan yöntemlerden biridir. Dikilen iyonların yoğunluk ve derinliğinin kolayca kontrol edilebilmesi gibi bazı teknolojik üstünlüklere sahip olması sebebiyle son yıllarda bilimde uygulama alam bulmuştur. Bu yöntemle arzu edilen element uygun enerji ve doz seçimiyle istenilen yapıya sokulabilir. İyon dikme yöntemi birçok fiziksel kavram üzerinde çok sayıda etkiye sahiptir. Sadece mekanik ve/veya kimyasal özelliklerini değiştirmekle kalmayıp aynı zamanda malzemelerin elektriksel ve optik özelliklerini geliştirmede de kullamlabilmektedir. İyon dikme yöntemi diğer tekniklere göre dozun ve konumun tam kontrolü ve kristal safsızlık ve bozukluklarına duyarsız olma gibi bir takım avantajlara sahiptir. Hesaplamalar SRIM programında yapılmıştır. SRIM, (maddedeki iyonların durdurulması ve girme mesafeleri) iyon atom çarpışmalarının kuantum mekaniksel davranışlarını, (10 eV-2 GeV/akb) aralığında iyonların madde içinde durdurulması, aldıkları mesafenin hesaplanmasını içeren programdır. vııı