Master'sOpen Access

Al0,43Ga0,57N süperörgülerinin yapısal ve optik özelliklerinin incelenmesi

2007
0 views
0 downloads
Advisor: Prof.dr. Süleyman Özçelik

Abstract (TR)

Al0,43Ga0,57N SÜPERÖRGÜLERİNİN YAPISAL VE OPTİKÖZELİKLERİNİN İNCELENMESİ(Yüksek Lisans Tezi)Hüseyin TECİMERGAZİ ÜNİVERSİTESİFEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜOcak 2007ÖZETBu tez çalışmasında Bilkent Üniversitesi Nanoteknoloji Araştırma Merkezi'ndeMetal organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD) tekniği ile büyütülen ikifarklı süperörgü Al0,43Ga0,57N/Al2O3 yarıiletken ince filmin yapısal ve optikselözellikleri yüksek çözünürlüklü X-ışını difraksiyon (HR-XRD) cihazı, atomikkuvvet mikroskobu (AFM) ve fotolüminesans (PL) kullanılarak incelendi.Alınan ölçümlerden numunelerin kalitesi ve yüzey morfolojisi belirlendi veliteratürle karşılaştırıldı.Bilim Kodu : 202.1.147Anahtar Kelimeler : AlGaN, HEMT, MOCVD, XRD, AFM, PLSayfa Adedi : 60Tez Yöneticisi : Prof. Dr. Süleyman ÖZÇELİK

Author

Dr. Hüseyin Tecimer

How to Cite

Hüseyin Tecimer (Yüksek Lisans Tezi). Al0,43Ga0,57N süperörgülerinin yapısal ve optik özelliklerinin incelenmesi, 2007, Gazi University.

Keywords

License

Tüm Hakları Saklıdır

This work is shared under the specified license terms.

More theses from Gazi University