Basamaklı yüzeylerin dengeye ulaşması ve büyütülmesinin kinetik Monte Carlo yöntemi ile bir boyutta incelenmesi

Bu tez çalışmasında bir boyutlu, farklı başlangıç şekillerine sahip yarıiletken yüzeylerinin dengeye ulaşması ve yüzeye belirli bir parçacık akısının olduğu durumda yüzeyin büyümesi süreçleri kinetik Monte Carlo yöntemi ile araştırılmıştır. Göz önüne alınan başlangıç yüzeyleri deneysel çalışmalarda sıklıkla kullanılan "V" şekli ve sinüssel yüzeylerdir. Bu çalışmada başlangıç yüzeyinin bir atom yüksekliğinde basamaklar ve bunları birleştiren teraslardan oluştuğu kabul edilmiştir. Monte Carlo simülasyonlarında bir parçacığın yüzey üzerinde serbest difüzyonu, bir parçacığın bir basamak kenarından ayrılarak bir önündeki veya bir üstteki terasa salınması, bir parçacığın bir basamak önündeki terastan veya bir üstteki terastan basamak kenarına birleşmesi olayları göz önüne alınmıştır. Çalışmada bu proseslere karşılık gelen bağlanma enerjilerinin yüzey profili üzerine etkileri araştırılmıştır. Üst terastaki bir parçacığın alttaki basamak ile birleşmesi için gereken fazladan enerji engelini temsil eden Ehrlich-Schwoebel enerji bariyerinin de etkisi çalışmalarda göz önüne alınmıştır. Yüzeylerin dengeye ulaşması farklı başlangıç yüzeyleri kullanılarak farklı sıcaklıklarda incelenmiştir. Ayrıca parçacıkların etkileşim enerjilerinin yüzey profili ve yüzeyin evrimi üzerindeki etkileri de araştırılmıştır. Yüzeye belirli bir parçacık akısının olduğu durumlarda yüzey profili ve büyüme kinetiği farklı sıcaklık ve farklı akı değerleri için incelenmiştir.