Master'sOpen Access

Elektron siklotron mikrodalga plazma (ECR-MP) yöntemi ile farklı yüzeylerin karbon ve azot katkılı karbon filmler ile kaplanması

2020
0 views
0 downloads
Advisor: Prof. Dr. Hamide Kavak

Abstract (TR)

Bu çalışmada Elektron Siklotron Rezonans Mikrodalga Plazma (ECR-MP) yöntemi kullanılarak azot katkılı ve katkısız karbon ince filmler metal (çelik, diş teli, diş implantı, alüminyum), silisyum ve cam alt tabanlar üzerine kaplandı. Plazma oluşumu için metan (CH4) gazı kullanıldı. Farklı alt tabanlar üzerine büyütülen kaplamaların optik, yapısal- yüzey özellikleri belirlendi. Aynı zamanda metal alt tabanlar üzerine büyütülen örneklerin sürtünme ve aşınma testleri yapıldı.

Author

Özlem Çelikel

How to Cite

Özlem Çelikel (Yüksek Lisans Tezi). Elektron siklotron mikrodalga plazma (ECR-MP) yöntemi ile farklı yüzeylerin karbon ve azot katkılı karbon filmler ile kaplanması, 2020, Çukurova University.

Keywords

License

Tüm Hakları Saklıdır

This work is shared under the specified license terms.

More theses from Çukurova University