Çok katlı süperiletken YBCO ince filmlerin srtio3 ara-katmanlar kullanılarak üretilmesi

Çok katlı süperiletken ince film yapıları, süperiletken mikro-elektronik aygıtlar için çok önemli olmasıyla birlikte, YBa2Cu3O7-x (YBCO) gibi yüksek sıcaklık süperiletkenleri kullanılarak elde edilmesi oldukça zordur. YBCO ince filmler kullanılarak üretilen çok katmanlı yapılar, birçok tampon tabakalar üzerine süperiletken tek YBCO ince film katmanının eklenmesiyle elde edilmiştir. Bu çalışmada ise birden fazla süperiletken YBCO ince filmler, SrTiO3 (STO) ara katmanlar ile birbirlerinden yalıtılarak çok katmanlı süperiletken ince film yapısı üretilmiştir. YBCO ve STO ince film büyütme işlemleri sırasıyla dc ve rf magnetron püskürtme teknikleri için optimize edildi ve tek kristal (100) STO altıklar üzerine üretim gerçekleştirildi. YBCO ince filmlerin süperiletkenlik özellikleri, ac manyetik suseptibilite ve dc direnç – sıcaklık ölçümleriyle test edildi. Üretilen yapının aygıt uygulamalarında kullanılabilirliğini test etmek için, en üst YBCO katman mikro-köprüler şeklinde desenlendi ve bu aygıtın çok katmanlı yapı üzerindeki akım-gerilim performansı analiz edildi. Geliştirilen süperiletken çok katmanlı yapıları bir uygulama içerisinde gözlemleyebilmek için 3-katmanlı YBCO/STO/YBCO yapısı üretildi. Üst YBCO ince film, mikro aygıt şeklinde desenlendi ve alt katmanda bulunan süperiletken YBCO ince filmin bu mikro aygıt üzerindeki manyetik kalkan performansı farklı büyüklerlerde uygulanan dış manyetik alanlar altında test edildi.