Optomekanik algılama cihazlarının Al2O3 tabanlı platformlarda dizaynı

Işık çok uzun süredir hayatımızda yer almaktadır. Sonuç olarak, ışığın iletilmesi ve yansımasına dayalı çalışma prensibine sahip cihazlar icat edilmiştir. Bu çalışmada entegre halka rezonatör tabanlı sensörlerin, tasarımı ve analitik hesaplamaları ana konuyu oluşturmaktadır. Kullanımdaki standart MEMS'e benzer şekilde, MOEMS yapıları incelendiğinde hassasiyet, gürültü ve şok değeri gibi kilit alanlarda üstün sonuçlar verir. Tasarlanan cihazları oluşturmak için Al2O3 tabanlı tek modlu bir sırt dalga kılavuzu geometrisi ve bir halka rezonatör kullanılmıştır. Entegre devre için yüksek kırılma indeksi, nadir toprak iyon katkısı, yüksek ışık yakalama, minimum kayıp, kararlılık, şeffaflık ve optik fiberlere uyarlanabilirlik gibi üstün özellikler Al2O3 tarafından sağlanmaktadır. MOEMS ivmeölçeri, Al2O3'ten oluşan bir halka rezonatör kullanılarak oluşturulabilir. Sistem, konsol yapısının ivme kaynaklı bükülmesinin, halka rezonatörün kırılma indeksini değiştirip, dalga boyu kaymasının ölçümü teorisine dayanmaktadır. Tasarlanan ivme ölçerin optik ve mekanik analizleri yapılmıştır. Bu optimizasyon araştırmasında FDTD ve FEM gibi sayısal teknikler kullanıldı. Analiz sonucunda toplanan parametreler cihazın iyileştirilmesinde kullanılmıştır. Çalışma, piyasadakilerden daha hassas, aynı zamanda daha ucuz, darbe direnci daha yüksek ve gürültü oranı düşük bir ivmeölçer tasarlandığını ortaya koydu.