Lazerle oluşturulan kalay plazma ortamlarından yayılan x-ışınları ve EUV-ışınlarının modellemesi

Laserle oluşturulan kalay plazma ortamlarından yayılan Ni-benzeri ve Co- benzeri X-ışınları ile uç-morötesi(EUV) ışınların simülasyonu hidrodinamik ve atomik fizik kodu EHYBRID kullanılarak yapılmıştır. Laserle oluşturulan plazma ortamlarından yayılan x-ışınları litografi, spektroskopi, mikroskopi, holografi ve x-ışını laser üretimi gibi uygulamalarda kullanılmaktadır. Laserle oluşturulan plazma ortamlarından yayılan uç-morötesi ışınlar ise yeni nesil litografi olarak adlandırılan uç-morötesi litografide kullanılır. İlk olarak, Nd:YAG laser atımları ile oluşturulan kalay plazma ortamından yayılan x-ışını rezonans çizgileri modellenmiştir. Laser enerjisinin x-ışınına dönüşüm verimliliği hesaplanarak, laser şiddetinin ve atım süresinin dönüşüm verimliliğini nasıl etkilediği incelenmiştir. Daha sonra temel, 2. harmonik ve 3. harmonik dalgaboylarında Nd:YAG laseri ikili atım konfigürasyonunda kullanılarak kalay-plazma ortamı oluşturulmuş ve bu ortamdan yayılan x-ışınlarının dönüşüm verimlilikleri hesaplanmıştır. Nd:YAG laser atımları ile oluşturulan kalay plazma ortamından yayılan 11-17 nm arasındaki uç-morötesi ışınların simülasyonu yapılmış ve dönüşüm verimlikleri hesaplanmıştır. Dönüşüm verimliliğini artırmak için ön laser atım tekniği kullanılmıştır. Ön laser atım süresi ile ana laser atım sürelerinin ve laser atımları arasındaki zaman farkının dönüşüm verimliliğine etkileri incelenmiştir. Ayrıca temel dalgaboyunda, 2. harmonikte, 3. harmonikte ve 4. harmonikte Nd:YAG laser atımı kullanımının dönüşüm verimliliğine etkileri incelenmiştir. Saydamsızlık, dönüşüm verimliliğini önemli ölçüde etkilemektedir, bu nedenle laser ile oluşturulan kalay plazma ortamından yayılan x-ışınları ile uç-morötesi ışınların modellenmesi yapılırken saydamsızlık etkileri kaçış faktörü yaklaşımı ile modellemeye katılmıştır. Anahtar sözcükler : Laserle oluşturulan plazmalar, x- ışınları, uç-morötesi ışınlar, dönüşüm verimliliği.