Magnetron püskürtme yöntemiyle SrTiO3 ince tabakaların üretimi ve karakterizasyonu

Bu tez çalışmasında, SrTiO3 ince tabakaların üretimi ve karakterizasyonları araştırıldı. Yöntem olarak ise (RF) Püskürtme yöntemi kullanıldı. Alttaş olarak n-tipi silisyum (Si) üzerine SrTiO3 ince tabaka büyütülerek, elektriksel karakterizasyonu araştırıldı. SrTiO3/n?Si yapıların, frekansa ve sıcaklığa bağlı kapasitans-voltaj (C-V) ve iletkenlik-voltaj (G/w-V) karakteristikleri seri direnç (Rs) ve arayüzey durumlarının (Nss) etkisi dikkate alınarak 80-300 K sıcaklık aralığında ve 10 kHz-1MHz frekans, (-5 V)-(+5 V) aralığında incelendi. Yapının deneysel C-V-f ve G/w-V-f karakteristiklerinin frekansa ve sıcaklığa bağlı olduğu gözlendi. Frekansa ve voltaja bağlı Rs ve Nss incelendi. Buna ilaveten ara yüzey durumlarının dağılım profili (Nss), etkin bariyer yüksekliği (?e) göz önüne alınıp enerjinin (Ec-Ess) bir fonksiyonu olarak doğru ön gerilim I-V ölçümlerinden elde edildi. Arayüzey durumlarının ortalama değeri 1014 eV-1cm-2 civarında bulundu. C-V eğrilerindeki pikler Nss ve Rs?nin varlığına atfedildi. Rs?nin C-V ve G/?-V karakteristiklerine etkisi yüksek frekanslarda daha fazladır çünkü C ve G/? değerleri artan frekansla azaldığı görüldü. Nss?nin varlığı bu tür yapıların C-V ve G/?-V eğrilerinin ideal durumdan sapmasına yol açtığı görüldü. Ara yüzey durumları özellikle düşük frekanslarda a.c. sinyalini kolayca takip edebilir ve ömürlerine bağlı olarak kapasitansa katkıda bulunurlar. Aynı zamanda C-V ve G/w-V eğrilerinde görülen pik değerlerinin voltaj ekseninde kaymasına neden olurlar.