Caharacterization of cadmiun zinc telluride thin films prepared by magnetron sputtering from asingle target

Bu tezde CdZnTe ince filmlerinin yapısal karakterizasyonu optikkarakterizasyonu ve özdeksel karakterizasyonu değişik sıcaklıklarda incelenmiştir. Burada, literatürde daha önce bilinen, RF kullanılarak elde edilenve CdTe ve Zn'nin iki ayrı RF'den püskürtülmesi yerine tek bir RF püskürteci üzerine yerleştirilmiş CZT hedef maddesinden elde edilen film tekniklerinden farklı olarak uygulanmış; çok önemli bir fark bulunmaktadır. Cd1-xZnxTe ince filmleri tek bir püskürteç hedef kullanılarak sırasıyla ısıtılmış ve ısıtılmamışcam kaplama ana malzemesi üzerine çökeltildi. UV yayılım spektroskopisi, Xışınlarının kırınımı (XRD), X-ışınlarının foto elektron spektroskopisi (XPS),enerji dağınımlı X-ışınları spektroskopisi (EDS) ve Atomik kuvvet mikroskobu(AFM) ve Tarayıcı electron mikroskopisi (SEM) kullanılarak200nm'lik ince filmler üretilmiş ve bunların özellikleri belirlenmiştir. Optik emilim kuşak kenarı bölgesindeki aktarım spektraları çökeltilmiş olan ve ısı verilmiş CdZnTe örnekleri üzerinden ölçülmüştür. Çökeltilen filmlerdeki bantaralığının 1.70 ila 2.24 eV arasında değiştiği görülmüştür. XRD araştırmaları, ısıtılan filmlerin çoğunlukla amorf olmasına karşın ısıtılan Cd1-xZnxTe filmlerinin izometrik -küp şekilli (111) ve polikristal yapılı (220) ve (311)olduğunu göstermiştir. Daha sonra tavlama sıcaklığının ince filmlerin bileşimi üzerindeki etkisi üzerine tartışılmıştır. XPS ölçümleri, filmlerin bileşimini öğrenmek amacıyla derinlik görüntü modunda gerçekleştirilmiştir. SEM görüntüleri, örneğin büyütülmüş bir görüntüsünü üretmek için kullanıldı vekaplama ve fırınlama sıcaklıklarının CdZnTe ince filmlerinin morfolojik ve yapısal özellikleri üzerinde değişikliğe neden olduğu gözlendi.Kaplanmış CdZnTe ince filmleri ve kaynağın kimyasal bileşimleri, enerji yayılımı X-ray analizi (EDX veya EDS) ölçümlerini kullanarak incelendi. AFM, çeşitli radyo frekansı saçılım sıcaklıkları ile çeşitli fırınlama sıcaklıklarıaltında kaplanan CdZnTe ince filmlerinin görüntülenmesi için kullanıldı. Daha sonra bu görüntüler yüksek çözünürlükte analiz edildi. Son olarak, UV spektroskopisi yardımıyla bulunan bant aralığı değerleri ile tüm diğer analiz metotlarından yararlanılarak hesaplanan bant aralığı değerlerinin uyumluluğuirdelendi.