Master'sOpen Access

STM/AFM ile yüzey karakterizasyonu

2005
0 views
0 downloads
Advisor: Doç.dr. Mehmet Çakmak

Abstract (TR)

STM/AFM İLE YÜZEY KARAKTERÎZASYONU (Yüksek Lisans Tezi) Demet USANMAZ GAZİ ÜNİVERSİTESİ FEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜ Haziran 2005 ÖZET Bu çalışmada, Si ye AlGaAs yüzeylerinin STM/AFM yardımıyla görüntülendi. Si(lll) yüzeyinin 7x7' lik bir yeniden yapılanmaya sahip olduğu bulundu. MBE laboratuarında büyütülen AlGaAs yarıiletkeninin AFM sonuçlarma bakıldı. İlk olarak numune NH4OH+H2O2+H2O (1:1:50) kimyasal çözeltisinde bekletildi. Daha sonra HF+H202+H20 (1:1:30) kimyasal çözeltisinde farklı zaman aralıklarında bekletildi. AlGaAs yarıiletkenin AFM görüntüleri ve yüzey pürüzlülük sonuçları elde edildi. Bilim Kodu :223.23 Anahtar Kelimeler : STM, AFM, AlGaAs, Si, yarıiletken Sayfa Adedi : 72 Tez Yöneticisi : Doç.Dr.Mehmet Çakmak

Author

Dr. Demet Usanmaz

How to Cite

Demet Usanmaz (Yüksek Lisans Tezi). STM/AFM ile yüzey karakterizasyonu, 2005, Gazi University.

Keywords

License

Tüm Hakları Saklıdır

This work is shared under the specified license terms.

More theses from Gazi University