ZnO esaslı nanoyapılı yarı iletken ince filmlerin büyütülmesi ve gaz sensörlerinin üretilmesi

Bu doktora tez çalışmasında, katkısız ve Al, Cu ve Sn ile % 0,1at., %0,5at., %1at., %2at., %5at. atomik oranlarda katkılandırılmış ZnO filmleri sol-jel metodu ile hazırlandı. Filmler döndürme kaplama metodu kullanılarak büyütüldü. Filmlerin kristal yapısı ve yüzey morfolojisi, X ışınları kırınım tekniği (XRD), taramalı elektron mikroskop (SEM) ve atomik kuvvet mikroskobu (AFM) yardımıyla araştırıldı. XRD sonuçları katkısız ve katkılandırılmış ZnO filmlerin hegzagonal polikristal yapıda olduğunu göstermiştir.Filmlerin kristal boyutu ve örgü sabitleri hesaplandı. Kristal yapı sonuçları filmlerin nanomalzeme olduğu gösterir. AFM sonuçları filmlerin nano tanelere sahip fiberlerden oluştuğunu göstermiştir. Filmlerin optik band aralıkları optik absorbsiyon metodu ile belirlendi ve 3.024eV-3.297eV aralığında bulundu. Amonyak gaz sensörleri katkısız ve metal katkılandırılmış ZnO filmler kullanılarak hazırlandı. Gaz sensörlerinin duyarlılık özellikleri Al, Cu ve Sn katkıları kullanılarak geliştirildi. Elde edilen gaz ölçüm sonuçları hazırlanan gaz sensörlerinin amonyak gazının belirlenmesinde kullanılabileceğini gösterir.Anahtar Kelimeler: Gaz Sensörleri, ZnO, Yarıiletken Gaz Sensörleri