Zr esaslı nano gözenekli Getter malzemelerinin üretilmesi ve mikro yapı özelliklerinin incelenmesi

Toz metalurjisi ile üretimi yapılan ve geniş uygulama alanına sahip gaz giderici olarak da bilinen 'Getter' malzemeler vakum ortamını korumak için büyük önem arz etmektedir. Vakum sisteminin çalışma şekline bağlı olarak farklı tiplerde gaz giderici malzemeler geliştirilmiştir. Buharlaşmayan gaz giderici olarak da bilinen 'Non-Evaporable Getter' malzemeler en çok elektronik alanda yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu çalışmada, tane boyutu 60-100 nm aralığındaki Zirkonyum, Vanadyum ve Demir tozları, toz metalürjisi yöntemiyle üretilerek presleme ve sıcaklık değerleri araştırılmıştır. Üretilen getter malzemelerin Presleme ve sinterleme sıcaklığı değişiminin yoğunluk, porozite, sertlik ve mikroyapıya etkisi incelenmiştir. Artan presleme basıncı ve sinterleme sıcaklığı etkisi ile sertlik değeri ve yoğunluğunun arttığı, gözenekliliğin azaldığı belirlenmiştir.