DC magnetron sıçratma tekniği ile büyütülen titanyum ince filmlerinin fiziksel özelliklerinin incelenmesi
2019
0 views
0 downloads
Advisor: Prof. Dr. Yusuf Atıcı
Abstract (TR)
Bu çalışma kapsamında doğru akım (DC) magnetron sıçratma tekniği ile hazırlanan 300 nm kalınlığındaki titanyum (Ti) ince filmleri 10, 20 ve 30 mTorr'luk sıçratma gazı (argon) basınç değerlerinde ve 15 dakika boyunca 150oC'lik alt tabaka sıcaklığı ile büyütülen ince filmlerin yüzey morfolojileri ve elementsel bileşimi üzerinde gaz basıncının etkisi araştırılmıştır. Atomik Kuvvet Mikroskobu, X-ışını Kırınımı, Taramalı Elektron Mikroskobu ve Enerji Dağılımlı X-ışını teknikleri kullanılarak numunelerin mikro yapıları incelenmiştir.
Author
Ümüt Kaplan
How to Cite
Ümüt Kaplan (Yüksek Lisans Tezi). DC magnetron sıçratma tekniği ile büyütülen titanyum ince filmlerinin fiziksel özelliklerinin incelenmesi, 2019, Fırat University.
Keywords
License
Tüm Hakları Saklıdır
This work is shared under the specified license terms.
More theses from Fırat University
- Bütünleşik pazarlama iletişimi aracı olarak sosyal medyanın kullanılması(2018)
- Hollanda Doğu Hindistan Şirketi'nin doğuşu ve XVII. yüzyıl Endonezyası'nda yükselişi(2013)
- Doğu Anadolu fay zonu'nun Doğanyol (Malatya) ile Çelikhan (Adıyaman) arasındaki gerilme durumunun incelenmesi(2020)
- Fuzûlî'nin Türkçe Divân'ında renklerin kullanımı(2013)
- Yavuzeli (Gaziantep) çevresinde yüzeyleyen volkanik kayaçların petrografik ve jeokimyasal özellikleri(2014)
- Hizbu't-Tahrir ve Ercümend Özkan'ın siyasi ve dini görüşleri(2008)