DC magnetron sıçratma tekniği ile büyütülen titanyum ince filmlerinin fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Bu tez size mi ait?
Bu kayıt toplu arşivden geldi. Sizinse profilinize bağlayın.
Özet (TR)
Bu çalışma kapsamında doğru akım (DC) magnetron sıçratma tekniği ile hazırlanan 300 nm kalınlığındaki titanyum (Ti) ince filmleri 10, 20 ve 30 mTorr'luk sıçratma gazı (argon) basınç değerlerinde ve 15 dakika boyunca 150oC'lik alt tabaka sıcaklığı ile büyütülen ince filmlerin yüzey morfolojileri ve elementsel bileşimi üzerinde gaz basıncının etkisi araştırılmıştır. Atomik Kuvvet Mikroskobu, X-ışını Kırınımı, Taramalı Elektron Mikroskobu ve Enerji Dağılımlı X-ışını teknikleri kullanılarak numunelerin mikro yapıları incelenmiştir.
Yazar
Ümüt Kaplan
Bu Yayına Nasıl Atıf Yapılır
Ümüt Kaplan (Yüksek Lisans Tezi). DC magnetron sıçratma tekniği ile büyütülen titanyum ince filmlerinin fiziksel özelliklerinin incelenmesi, 2019, Fırat University.
Anahtar Kelimeler
Lisans
Tüm Hakları Saklıdır
Bu eser belirtilen lisans koşulları altında paylaşılmaktadır.
Fırat University tezlerinden daha fazlası
- Bütünleşik pazarlama iletişimi aracı olarak sosyal medyanın kullanılması(2018)
- Fuzûlî'nin Türkçe Divân'ında renklerin kullanımı(2013)
- 317 Numaralı Midyat Şer'iyye Sicili'nin transkripsiyonu ve değerlendirilmesi (Hicri 1328-1334 / Miladi 1910-1916)(2018)
- Hizbu't-Tahrir ve Ercümend Özkan'ın siyasi ve dini görüşleri(2008)
- Şekil hatırlamalı Cu-Al-Ni ve Cu-Al-Be alaşımlarında termal yaşlandırma etkileri(2009)
- Şüt kanallarına yerleştirilen farklı tip enerji kırıcı blokların incelenmesi(2009)