DoctorateOpen Access

Karbon nitrür ince filmlerin üretilmesi ve fiziksel özelliklerinin belirlenmesi

2016
0 views
0 downloads
Advisor: Prof. Dr. Ramazan Esen

Abstract (TR)

Bu çalışmada elektron siklotron rezonans kimyasal buhar depolama (ECR-CVD) sistemi kullanılarak oda sıcaklığında (25°C) cam ve silisyum alt tabanlar üzerine amorf karbon nitrür (a-CNx) ince fimler sentezlenmiştir. a-CNx filmler çeşitli CH4/N2 gaz akış oranlarında depolanarak karbonla bağ yapan azot miktarının artırılması hedeflenmiştir. Elde edilen karbon nitrür ince filmlerin optiksel, yapısal, elektriksel ve yüzeysel özellikleri belirlenmiş ve tartışılmıştır.

Author

Zeliha Şeker

How to Cite

Zeliha Şeker (Doktora Tezi). Karbon nitrür ince filmlerin üretilmesi ve fiziksel özelliklerinin belirlenmesi, 2016, Çukurova University.

Keywords

License

Tüm Hakları Saklıdır

This work is shared under the specified license terms.

More theses from Çukurova University