DoktoraAçık Erişim

Karbon nitrür ince filmlerin üretilmesi ve fiziksel özelliklerinin belirlenmesi

2016
0 görüntülenme
0 i̇ndirme
Danışman: Prof. Dr. Ramazan Esen

Özet (TR)

Bu çalışmada elektron siklotron rezonans kimyasal buhar depolama (ECR-CVD) sistemi kullanılarak oda sıcaklığında (25°C) cam ve silisyum alt tabanlar üzerine amorf karbon nitrür (a-CNx) ince fimler sentezlenmiştir. a-CNx filmler çeşitli CH4/N2 gaz akış oranlarında depolanarak karbonla bağ yapan azot miktarının artırılması hedeflenmiştir. Elde edilen karbon nitrür ince filmlerin optiksel, yapısal, elektriksel ve yüzeysel özellikleri belirlenmiş ve tartışılmıştır.

Yazar

Zeliha Şeker

Bu Yayına Nasıl Atıf Yapılır

Zeliha Şeker (Doktora Tezi). Karbon nitrür ince filmlerin üretilmesi ve fiziksel özelliklerinin belirlenmesi, 2016, Çukurova University.

Anahtar Kelimeler

Lisans

Tüm Hakları Saklıdır

Bu eser belirtilen lisans koşulları altında paylaşılmaktadır.

Çukurova University tezlerinden daha fazlası