Master'sOpen Access

Moleküler katman biriktirme (MLD) yöntemiyle organik – inorganik hibrit alukon ince filmlerin oluşumu

2022
0 views
0 downloads
Advisor: Dr. Öğr. Üyesi Halil İbrahim Akyıldız

Abstract (TR)

Bu çalışmada MLD (Moleküler Katman Biriktirme) yöntemi ile hibrit alukon ince filmler biriktirilmiştir. Hibrit alukon ince filmler; silisyum tabaka, cam lamel ve cam kumaş yüzeyler üzerinde üretilmiştir. TMA-EG ve TMA-GL olarak farklı prekürsörler kullanılıp, iki farklı alukon üretimi gerçekleştirilmiştir. Üretim sırasında birikme oranınınti amacıyla elipsometre analizi yapılmıştır. Hibrit alukon ince filmin üretimi sırasında kontrolsüz büyüme, oksidasyon ve sızma gibi durumlar ile karşılaşılmış olup çözümler üretilmiştir.

Author

Nergis Nur Fidan

How to Cite

Nergis Nur Fidan (Yüksek Lisans Tezi). Moleküler katman biriktirme (MLD) yöntemiyle organik – inorganik hibrit alukon ince filmlerin oluşumu, 2022, Bursa Uludağ Üni̇versi̇ty.

License

Tüm Hakları Saklıdır

This work is shared under the specified license terms.

More theses from Bursa Uludağ Üni̇versi̇ty