Yüksek LisansAçık Erişim

Moleküler katman biriktirme (MLD) yöntemiyle organik – inorganik hibrit alukon ince filmlerin oluşumu

Bu tez size mi ait?

Bu kayıt toplu arşivden geldi. Sizinse profilinize bağlayın.

2022
0 görüntülenme
0 i̇ndirme

Özet (TR)

Bu çalışmada MLD (Moleküler Katman Biriktirme) yöntemi ile hibrit alukon ince filmler biriktirilmiştir. Hibrit alukon ince filmler; silisyum tabaka, cam lamel ve cam kumaş yüzeyler üzerinde üretilmiştir. TMA-EG ve TMA-GL olarak farklı prekürsörler kullanılıp, iki farklı alukon üretimi gerçekleştirilmiştir. Üretim sırasında birikme oranınınti amacıyla elipsometre analizi yapılmıştır. Hibrit alukon ince filmin üretimi sırasında kontrolsüz büyüme, oksidasyon ve sızma gibi durumlar ile karşılaşılmış olup çözümler üretilmiştir.

Yazar

Nergis Nur Fidan

Bu Yayına Nasıl Atıf Yapılır

Nergis Nur Fidan (Yüksek Lisans Tezi). Moleküler katman biriktirme (MLD) yöntemiyle organik – inorganik hibrit alukon ince filmlerin oluşumu, 2022, Bursa Uludağ Üni̇versi̇ty.

Lisans

Tüm Hakları Saklıdır

Bu eser belirtilen lisans koşulları altında paylaşılmaktadır.

Bursa Uludağ Üni̇versi̇ty tezlerinden daha fazlası